什么是波谱仪？波谱仪和能谱仪有什么区别？

什么是波谱仪？

波谱仪全称为波长分散谱仪(WDS)。在电子探针中，X射线是由样品表面以下m数量级的作用体积中激发出来的，如果这个体积中的样品是由多种元素组成，则可激发出各个相应元素的特征X射线。被激发的特征X射线照射到连续转动的分光晶体上实现分光(色散)，即不同波长的X射线将在各自满足布拉格方程的方向上被(与分光晶体以2:1的角速度同步转动的)检测器接收。

波谱仪和能谱仪有什么区别？

能谱仪是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。当X射线光子进入检测器后，在Si(Li)晶体内激发出一定数目的电子空穴对。产生一个空穴对的最低平均能量ε是一定的(在低温下平均为3.8ev)，而由一个X射线光子造成的空穴对的数目为N=△E/ε，因此，入射X射线光子的能量越高，N就越大。利用加在晶体两端的偏压收集电子空穴对，经过前置放大器转换成电流脉冲，电流脉冲的高度取决于N的大小。电流脉冲经过主放大器转换成电压脉冲进入多道脉冲高度分析器，脉冲高度分析器按高度把脉冲分类进行计数，这样就可以描出一张X射线按能量大小分布的图谱。

波谱仪是利用波谱法对物质的成分和结构进行分析的仪器，包括X射线波谱仪，核磁共振波谱仪等。

能谱仪具有分析速度快，灵敏度高，谱线重复性好的有点;也具有能量分辨率低、峰背比低，要求严格的缺点。

波谱仪的优点是波长分辨率高，但由于结构特点，波谱仪想要有足够的色散率，其聚焦圆的半径就要足够大，而这会导致X射线光量子的收集率降低。